This supplies less expensive and clean dried air from which moisture is thoroughly removed and pollutant such as NH3, SOx and organic is eliminated.

Low-dew-point air cleaner system : CDASS-100

Features

  • 除湿ロータを三段直列に用いて、超低露点空気を供給
    露点温度-100 ℃(8.7wt ppb )以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機の
    ガス状汚染物質と塵埃を除去したクリーン・ドライエア(CDA)を供給。
  • 除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
    ランニングコストは、圧縮空気(圧力スイング方式)と比較して1/5 ~1/10。
    窒素ガス方式に比べ窒息の心配なし。15~30m3/min の大風量のCDAを大気圧で供給。

システム構成

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可搬型クリーンドライエア供給装置:CDASS-mini

システム構成

熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ
電源接続のみでCDAを製造・供給。

  • 実績のある除湿ロータを使用
  • 圧縮空気(圧力スイング方式)と比べて低コスト。
    窒素ガス方式と比べてもより安価で安全。

※CDASS-miniの貸出機がございます。
ご要望は日本フローダ株式会社 東京支店 CR商品部までお問い合わせ下さい。
Tel : 03-5282-7255 E-mail :cr-syouhinbu@nipponfloda.co.jp

用途例

  • 電子デバイス製造装置・ストッカへの供給空気    ⇒ レチクルのHaze防止、ウェハ自然酸化膜防止
  • 電子デバイス製造装置のメンテナンス時の雰囲気空気    ⇒ 真空装置内の水分付着防止
  • 高分子有機EL製造ラインなどの空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを
    嫌う製品の研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適。
    高圧型クリーンドライエア供給装置:CDASS-HP

特長

既存圧縮空気を超低露点圧縮空気に精製し、高圧で供給

  • 小型・可搬型のため、どこでも設置可能
  • 窒素ガス供給システムと同等の供給圧力
  • 窒素ガス方式と比べてもより安価で安全
  • パーティクルや汚染ガスが極めて少ない超清浄空気
  • SEMI S2安全規格の認証を取得

用途例

  • 電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気
  • 空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品の
    研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適
  • レチクルのHaze防止
  • レンズの曇り防止
  • ウェハ自然酸化膜防止
  • 真空装置内部の水分付着防止
  • 有機EL製造ライン