This supplies less expensive and clean dried air from which moisture is thoroughly removed and pollutant such as NH3, SOx and organic is eliminated.
Low-dew-point air cleaner system : CDASS-100
Features
- 除湿ロータを三段直列に用いて、超低露点空気を供給
露点温度-100 ℃（8.7wt ppb ）以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機の
ガス状汚染物質と塵埃を除去したクリーン・ドライエア（CDA）を供給。 - 除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
ランニングコストは、圧縮空気（圧力スイング方式）と比較して1/5 ～1/10。
窒素ガス方式に比べ窒息の心配なし。15～30m3/min の大風量のCDAを大気圧で供給。
システム構成
可搬型クリーンドライエア供給装置：CDASS-mini
システム構成
熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ
電源接続のみでCDAを製造・供給。
- 実績のある除湿ロータを使用
- 圧縮空気（圧力スイング方式）と比べて低コスト。
窒素ガス方式と比べてもより安価で安全。
※CDASS-miniの貸出機がございます。
ご要望は日本フローダ株式会社 東京支店 CR商品部までお問い合わせ下さい。
Tel : 03-5282-7255 E-mail :cr-syouhinbu@nipponfloda.co.jp
用途例
- 電子デバイス製造装置・ストッカへの供給空気 ⇒ レチクルのHaze防止、ウェハ自然酸化膜防止
- 電子デバイス製造装置のメンテナンス時の雰囲気空気 ⇒ 真空装置内の水分付着防止
- 高分子有機EL製造ラインなどの空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを
嫌う製品の研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適。
高圧型クリーンドライエア供給装置：CDASS-HP
特長
既存圧縮空気を超低露点圧縮空気に精製し、高圧で供給
- 小型・可搬型のため、どこでも設置可能
- 窒素ガス供給システムと同等の供給圧力
- 窒素ガス方式と比べてもより安価で安全
- パーティクルや汚染ガスが極めて少ない超清浄空気
- SEMI S2安全規格の認証を取得
用途例
- 電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気
- 空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品の
研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適 - レチクルのHaze防止
- レンズの曇り防止
- ウェハ自然酸化膜防止
- 真空装置内部の水分付着防止
- 有機EL製造ライン
